| 摘要 |
本发明的目的是在于提供一种搬送效率或收纳效率高，防止尘埃影响的同时，亦不受自保管中的晶圆所发生的气体影响之晶圆用保管库及其保管控制方法。晶圆用保管库，系于保管库本体10内具备：在内部收纳晶圆的保管用卡匣11；配置复数个保管用卡匣11的收纳架12A、12B；及对向于收纳架12A、12B而配置的晶圆搬送部20，又，具有将搬送用卡匣15、16搬入搬出至保管库本体10的出入库17，且在保管库本体10内供给惰性气体，在晶圆搬送部20，将由搬入至保管库本体10内的搬送用卡匣15、16所取出的晶圆收纳于保管用卡匣11，且将由保管用卡匣11取出的晶圆收纳于搬送用卡匣15、16，其特征为：在保管用卡匣11具有可确保密闭机能的门，除了晶圆往保管用卡匣11内搬入时及往保管用卡匣11外搬出时以外，封闭门。 |
