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经营范围
发明名称
用于处理及分析基板之平台,装置,系统及方法
摘要
本发明提供用于制造显示器、太阳电池板及使用较大大小之工件的其他器件之器件及方法。将工件卷绕为圆柱体,藉此在一维度上将实体大小减小为三分之一。工件卷绕于其上之台架具有圆柱形状,此允许玻璃之较为稳固及/或紧密之移动,减小机器重量。工件相对较薄,具较大可挠性,且卷绕于具有约1公尺之直径的圆柱体上。
申请公布号
TW200746343
申请公布日期
2007.12.16
申请号
TW096107062
申请日期
2007.03.01
申请人
麦可尼克雷射系统公司
发明人
托伯仲 山德史淳;佳瑞克 鲁比瑞克;拉斯 史堤布雷特;汤玛士 拉克
分类号
H01L21/67(2006.01)
主分类号
H01L21/67(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
瑞典
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