用于互连的碳奈米管-焊锡组合结构、制造该组合结构的制程、含有该组合结构的封装、以及含有该组合结构的系统

摘要

一种碳奈米管(CNT)阵列被形成图案于一基材上。该基材可以是一微电子晶粒，一用于覆晶的插入式(interposed)结构，一安装基材，或一块板子。该CNT阵列系藉由使用一图案化的金属种晶层于一基材上用以藉由化学气相沉积形成该CNT阵列而被形成图案。该图案化的CNT阵列亦可藉由使用一图案化的罩幕于该基材上用以藉由生长来形成该CNT阵列而被形成图案。一种使用该CNT阵列来将热传递离开该晶粒的运算系统亦被揭示。