发明名称 远端区域之压力调整
摘要 一种压力控制系统遥控一或多个远端区域内的压力,每一远端区域分别透过一导管连接到一围蔽空间(enclosure),其中该系统藉由控制一流体流入和流出每一围蔽空间之流量的方式进行遥控。该流体之压力在每一围蔽空间内被测量。以围蔽空间内之实测压力及导管和区域之已知特性的一函数估算每一区域内之一估计压力。对于每一区域,每一围蔽空间之一进入比例阀和一排出比例阀被操作以便将该流体流入相应围蔽空间内之输入流率及该流体流出该围蔽空间外之输出流率控制成一压力设定值和该估计压力之一函数,藉此依据该压力设定值调整区域内之压力。
申请公布号 TW200745804 申请公布日期 2007.12.16
申请号 TW096101519 申请日期 2007.01.16
申请人 MKS公司 发明人 施亚里;那甘悌;贺高登
分类号 G05D16/20(2006.01);F16K31/36(2006.01);F16K31/12(2006.01) 主分类号 G05D16/20(2006.01)
代理机构 代理人 黄庆源;何爱文
主权项
地址 美国