二维挠性MEMS储存元件中最佳化伺服控制器电力的方法METHOD OF OPTIMIZING SERVO CONTROLLER POWER IN TWO-DIMENSIONAL FLEXURE MEMS STORAGE DEVICES

摘要

本发明提供在二维挠性MEMS(微电子记忆储存)元件操作中最佳化伺服控制器电力要求的方法。此外，经由本发明方法之利用，提供在二维挠性MEMS储存元件中最佳化伺服控制器电力之配置。