闸阀及包含此闸阀之基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板处理装置，其包含：沿一第一方向设置之复数个模组，该复数个模组中之每一者具有一可容纳一基板之内部空间；一在该复数个模组之间传递基板之传递单元，该传递单元包括至少一沿该第一方向设置之轨道及至少一沿该至少一轨道移动之可移动传递室；及一闸阀，其固定于该复数个模组中之每一者上且与该至少一可移动传递室结合，其中该至少一可移动传递室在移动时在气压上与外部隔离。