| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf berührungslose Positionsaufnehmer, insbesondere auf einen linearen magnetischen Positionsaufnehmer, mit einer Feldsonde zum Erzeugen eines Sensorsignals in Antwort auf eine geometrische Lage eines magnetischen Indikatorelements mit Bezug auf diese Feldsonde. Weiterhin bezieht sich die vorliegende Erfindung auf einen Vakuumaktuator mit einer flexiblen Membran, die zwischen zwei Druckreservoirs angeordnet ist und deren Position von einem berührungslosen Positionsaufnehmer überwacht wird. Um einen einfach und robust aufgebauten linearen magnetischen Positionsaufnehmer, der eine verbesserte Linearität seiner Ausgangskennlinie aufweist, anzugeben, ist das Indikatorelement (102) durch einen im Wesentlichen rohrförmigen Permanentmagneten, der in einer Richtung entlang einer Längsachse des Rohrs beweglich ist, gebildet und der Positionsaufnehmer weist mindestens zwei ferromagnetische Flussleitkörper (112, 114) auf, die entlang der Längsachse im Inneren des rohrförmigen Permanentmagneten (102) angeordnet sind und einen Luftspalt (110) definieren, in welchem die Feldsonde (108) angeordnet ist.
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