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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren sowie eine Vorrichtung (25) zum Einstellen von gerätespezifischen Auswerteparametern in einem Messgerät (200). Dabei umfasst ein Messgerät (200) jeweils eine Messvorrichtung (201) sowie eine gerätespezifische Auswerteeinrichtung (213). Die gerätespezifischen Auswerteparameter werden in Abhängigkeit von einem Referenz-Messgerät (100), das wiederum eine Referenz-Messvorrichtung (101) und eine Referenz-Auswerteeinrichtung (113) umfasst, bestimmt und eingestellt. In einem ersten Schritt wird eine Struktur mit der Referenz-Messvorrichtung (101) oder der Messvorrichtung (201) vermessen und die erfassten Messdaten werden an das jeweils andere von den beiden Geräten übertragen. Als Folge liegen die Messdaten in dem Datenspeicher (112, 212) von sowohl Messgerät (100) als auch Referenz-Messgerät (200) vor. Die jeweils identischen Messdaten werden dann von der Auswerteeinrichtung (213) und der Referenz-Auswerteeinrichtung (113) ausgewertet, indem eine charakteristische Strukturgröße und eine Referenz-Strukturgröße ermittelt werden. Die ermittelte Strukturgröße wird mit der Referenz-Strukturgröße verglichen, und die Auswerteparameter der Auswerteeinrichtung (213) werden solange verändert, bis die ermittelte Strukturgröße mit der Referenzstrukturgröße übereinstimmt.
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