发明名称 |
金属氧化物半导体场效应晶体管保护电路及其制造方法 |
摘要 |
一种金属氧化物半导体场效应晶体管保护电路,包括NMOS管及保护二极管,所述的保护二极管有两个,该两个二极管的阳极分别和NMOS管栅极以及衬底相连接,该两个二极管的阴极相连。本发明保护了金属氧化物半导体使其免受天线效应影响,同时防止对低开启电压以及零开启电压MOS管测量时保护二极管被开启而不能完整地测量MOS管的电流-电压特性。 |
申请公布号 |
CN101083264A |
申请公布日期 |
2007.12.05 |
申请号 |
CN200610027257.1 |
申请日期 |
2006.06.02 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
苏鼎杰;黄威森;萧金燕 |
分类号 |
H01L27/04(2006.01);H01L21/822(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/04(2006.01) |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
1、一种金属氧化物半导体场效应晶体管保护电路,包括NMOS管及保护二极管,其特征在于所述的保护二极管有两个,该两个二极管的阳极分别和NMOS管栅极以及衬底相连接,该两个二极管的阴极相连。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江路18号 |