| 发明名称 | 用于阴极材料连续沉积的双阳极交流电源 | ||
| 摘要 | 本发明提供在连续操作模式下用于绝缘材料溅射沉积的设备1，所述设备使用至少两个溅射阳极(11，12)和连接到中心抽头导体以维持该靶阴极(4)相对等离子体(2)处于负电位的阴极(4)，其中交流电源(14)驱动每个阳极(11，12)，交替地在溅射阳极(11，12)相对等离子体是负电位时的半循环内呈离子收集状态以吸引离子，和在溅射阳极(11，12)相对于等离子体(2)是电位小或接近等离子体(2)电位的半循环内呈电子收集状态以吸引电子。在一个替代的实施方案中，中心抽头导体用一对串联连接的二极管代替。 | ||
| 申请公布号 | CN101084325A | 申请公布日期 | 2007.12.05 |
| 申请号 | CN200580043073.8 | 申请日期 | 2005.12.15 |
| 申请人 | 先进能源工业公司 | 发明人 | E·西摩;R·A·肖勒 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01) | 主分类号 | C23C14/35(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 程大军 |
| 主权项 | 1.用于阴极材料溅射沉积的设备，其包括：a)包含离子和电子的产生等离子体的等离子体室；b)至少两个置于等离子体室内的溅射阳极；c)置于等离子体室内极靠近等离子体的靶阴极，其中该靶阴极包括可以响应来自等离子体的离子的轰击由靶阴极溅射的原子，从而在等离子体室中的基材表面成膜；和d)与中心抽头电感器并联在一起的交流电源，所述的中心抽头电感器具有一个连接到第一溅射阳极的端点、连接到第二溅射阳极的第二个端点和连接到靶阴极以保持靶阴极相对所述的等离子体处于负电位的电感器的中心抽头，其中交流电源驱动每个阳极，交替地在溅射阳极相对于等离子体是负电位的半循环内呈离子收集状态以吸引离子，和在溅射阳极相对于等离子体是小电位或接近等离子体电位的半循环内呈电子收集状态以吸引电子。 | ||
| 地址 | 美国科罗拉多州 | ||