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发明名称 VAPOR PHASE TREATMENT OF DIELECTRIC MATERIALS
摘要
申请公布号 EP1861869(A1) 申请公布日期 2007.12.05
申请号 EP20060718614 申请日期 2006.01.17
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL, INC. 发明人 BHANAP, ANIL S.;ILAN, GOLECKI;ENDISCH, DENIS H.;DANIELS, BRIAN J.;BURNHAM, KIKUE S.;ROTH, ROBERT R.
分类号 H01L21/316;C23C16/40;C23C16/56;H01L21/3105 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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