发明名称 |
半导体器件 |
摘要 |
公开了一种半导体器件,包括:半导体衬底;在所述半导体衬底的主表面形成的器件有源部分;在所述半导体衬底的主表面形成的、以围绕所述器件有源部分的外围的器件隔离部分;层叠在所述器件有源部分上的绝缘膜;以及层叠在所述绝缘膜上的栅电极;其中,所述器件有源部分包括:沿栅极长度方向彼此相对地设置的源极区和漏极区;以及置于所述源极区和所述漏极区之间,并且与所述源极区和漏极区呈现不同导电类型的沟道区;所述沟道区包括:连接所述源极区和所述漏极区,并且具有近似矩形形状的中心区;以及沿栅极宽度方向从所述中心区的一侧端凸出的凸出区;以及当沿所述迭层方向观看时,所述沟道区位于从所述栅电极向内的方向。 |
申请公布号 |
CN101083285A |
申请公布日期 |
2007.12.05 |
申请号 |
CN200710108821.7 |
申请日期 |
2007.05.31 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
今出昌宏 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01);H01L27/04(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
王玮 |
主权项 |
1.一种半导体器件,包括:半导体衬底;在所述半导体衬底的主表面形成的器件有源部分;在所述半导体衬底的主表面形成的、以围绕所述器件有源部分的外围的器件隔离部分;层叠在所述器件有源部分上的绝缘膜;以及层叠在所述绝缘膜上的栅电极;其中,所述器件有源部分包括:沿栅极长度方向彼此相对地设置的源极区和漏极区;以及置于所述源极区和所述漏极区之间,并且与所述源极区和漏极区呈现不同导电类型的沟道区;所述沟道区包括:连接所述源极区和所述漏极区,并且具有近似矩形形状的中心区;以及沿栅极宽度方向从所述中心区的一侧端凸出的凸出区;以及当沿所述迭层方向观看时,所述沟道区位于从所述栅电极向内的方向。 |
地址 |
日本大阪府 |