具有有机薄膜晶体管的半导体器件的制造方法

摘要

由于使用印刷法产生位置偏移，所以无法形成介于绝缘膜使下部电极和上部电极良好对位的电极衬底。如果使用光掩模进行对位，则大幅度提高成本。在本发明中，由于自匹配地进行下部电极和上部电极的对位，所以，即使使用印刷法也不发生位置偏移。因此，能使用印刷法廉价地制造使用了有机半导体的挠性衬底等半导体器件。

主权项

1、一种半导体器件的制造方法，其特征在于包括以下工序：在衬底上形成下部电极的工序；形成绝缘膜以覆盖所述下部电极的工序；在所述绝缘膜上选择性地形成源电极以及漏电极的工序；在所述绝缘膜上选择性地形成由有机半导体形成的沟道部的工序，所述沟道部被所述源电极及漏电极夹持，其一端与所述源电极连接，另一端与所述漏电极连接；所述源电极以及漏电极按以下方法形成：使感光性自组织化单分子膜附着在所述绝缘膜上，向所述源电极及漏电极预定形成区域照射曝光光，使用有机碱水溶液和水冲洗所述照射后的所述感光性自组织化单分子膜，然后，使含有导电性材料的溶液附着在所述绝缘膜上。