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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE WITH TANTALUM ZIRCONIUM OXIDE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号
KR100780605(B1)
申请公布日期
2007.11.29
申请号
KR20050104771
申请日期
2005.11.03
申请人
发明人
分类号
H01L21/316;H01L21/336
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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