发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE WITH TANTALUM ZIRCONIUM OXIDE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100780605(B1) 申请公布日期 2007.11.29
申请号 KR20050104771 申请日期 2005.11.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L21/336 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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