| 摘要 |
<p>Un appareil inclut une enceinte, au moins une chambre de traitement, un robot et au moins une soupape. L'enceinte contient un gaz et a au moins une porte configurée pour recouvrir une ouverture dans l'enceinte. Le gaz inclut au moins un gaz réducteur. Le robot est disposé à l'intérieur de l'enceinte et est configuré pour transférer un substrat entre la porte et la chambre de traitement. La soupape est couplée à l'enceinte.</p> |
