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Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Bestimmung der Position eines entlang mindestens einer Verschieberichtung bewegbaren Objektes, wobei der oder jeder Verschieberichtung eine Längenmesseinrichtung zur Messung der Position des Objektes entlang der jeweiligen Raumrichtung zugeordnet ist, mit mindestens einem entlang einer Verschieberichtung (x, y) des zu messenden Objektes (10) erstreckten Maßstab (20, 30) als erster Komponente der jeweiligen Längenmesseinrichtung (2, 3); mit einem Abtastkopf (25, 35) zum Abtasten des Maßstabes (20, 30) als zweiter Komponente der jeweiligen Längenmesseinrichtung (2, 3), so dass eine Änderung der Position des Maßstabes (20, 30) bezüglich des Abtastkopfes (25, 35) entlang der zugeordneten Verschieberichtung (x, y) des zu messenden Objektes (10) erfassbar ist, wobei eine der beiden Komponenten (20, 25; 30, 35) der jeweiligen Längenmesseinrichtung (2, 3) bei einer Bewegung des zu messenden Objektes (10) gemeinsam mit diesem entlang der jeweiligen Verschieberichtung (x, y) bewegt wird; und mit einer Einrichtung (12, 23; 13, 33) zur Bestimmung des Abstandes der gemeinsam mit dem zu messenden Objekt (10) bewegbaren Komponente (20, 30) der jeweiligen Längenmesseinrichtung (2, 3) von dem zu messenden Objekt (10) entlang der Messrichtung (x, y) der zugeordneten Längenmesseinrichtung (2, 3). Erfindungsgemäß umfasst die Einrichtung (12, 23; 13, 33) zur Bestimmung des Abstandes der gemeinsam mit dem zu messenden Objekt (10) ...
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