高温烘烤晶舟

摘要

本发明揭露一种高温烘烤晶舟，其中高温烘烤晶舟包含一前端构件、二片侧壁板、一后端构件、复数个固定槽、二片弹片挡板及二支支撑杆。使用此种高温烘烤晶舟可将晶圆受损的机会减至最低。

主权项

1.一种高温烘烤晶舟,该高温烘烤晶舟包含: 一前端构件; 二侧壁板相对地设置于该前端构件之两端; 一后端构件位于该二侧壁板之间; 二弯曲之弹片挡板相对地设置于该二侧壁板之下 方;及 二支撑杆分别固定于该二侧壁板及该二弯曲之弹 片挡板之间。 2.如申请专利范围第1项所述之高温烘烤晶舟,其中 各个该侧壁板具有复数个纵向沟槽及一横向支撑 杆。 3.如申请专利范围第1项所述之高温烘烤晶舟,其中 该弹片挡板位于该侧壁板之下方。 4.如申请专利范围第1项所述之高温烘烤晶舟,其中 该侧壁板包含复数个固定槽。 5.如申请专利范围第4项所述之高温烘烤晶舟,其中 该固定槽用于放置晶圆。 6.如申请专利范围第1项所述之高温烘烤晶舟,其中 该弹片挡板系由金属制成。 7.如申请专利范围第6项所述之高温烘烤晶舟,其中 弹片挡板可承受高于摄氏三百度之温度。 8.如申请专利范围第1项所述之高温烘烤晶舟,其中 该弹片挡板具有一斜面以增加与晶圆的接触面积 。 图式简单说明: 第一图为先前技术实施例之晶舟的透视图。 第二图为本发明实施例之晶舟的透视图。