发明名称 电极的形成方法和有机薄膜晶体管及显示装置
摘要 本发明公开了一种用于形成有机电子装置电极的方法,其可以使用增大范围的导电材料来形成源/漏电极。所公开的方法还可以在有机电子装置制造期间使用不同的导电材料来形成数据线和源/漏电极。根据该方法制造的有机电子装置可以提供超出常规方法的优点,例如包括有机电子装置形成中改善的构图和精确性。根据所公开方法制造的有机电子装置期望用于显示装置和电子显示器中。
申请公布号 CN101075658A 申请公布日期 2007.11.21
申请号 CN200710088552.2 申请日期 2007.03.16
申请人 三星电子株式会社 发明人 具本原;李相润
分类号 H01L51/40(2006.01);H01L51/05(2006.01);H01L51/10(2006.01);H01L51/30(2006.01);H01L27/28(2006.01) 主分类号 H01L51/40(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1.一种用于形成有机电子装置的方法,该方法依次包括:在衬底上形成栅电极图案;在该栅电极图案和该衬底上形成栅绝缘物图案;在该栅绝缘物图案上形成第一导电材料的数据线;在暴露于一对数据线之间的部分栅绝缘物图案上形成有源区图案;以及在数据线、栅绝缘物图案和部分有源区图案上形成第二导电材料的源/漏电极,其中源/漏电极通过沟道堤坝彼此分隔开且其中第一导电材料与第二导电材料不同。
地址 韩国京畿道