用于透明基底的多层系统和涂敷的基底

摘要

用于透明基底表面涂层的多层系统、尤其是用于玻璃窗的具有低发射率(低-E)的多层系统，具有由金属靶合金通过反应性阴极溅射制得的至少一层混合氧化物层。所述的混合氧化物层由ZnO、TiO₂和氧化物Al₂O₃、Ga₂O₃和Sb₂O₃中的至少一种组成。其可用作上层和/或下层抗反射层、抗反射层的部分层和/或用作最后的外涂层。上述多层系统的特征是具有高硬度和对海洋性环境具有很好的耐性。

主权项

1.用于透明基底的多层系统，其包含至少一层功能层和至少一层由ZnO、TiO2和至少一种另外的氧化物组成的混合氧化物层，其是由金属靶合金通过反应性阴极溅射制得的，其特征在于该另外的氧化物是Al2O3、Ga2O3和/或Sb2O3，且其特征在于ZnO和TiO2在所述的混合氧化物层中以1∶1-2∶1的摩尔比例存在。