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发明名称 Method and system for wafer-level tuning of bulk acoustic wave resonators and filters
摘要
申请公布号 EP1258988(B1) 申请公布日期 2007.11.21
申请号 EP20020008094 申请日期 2002.04.11
申请人 NOKIA CORPORATION 发明人 TIKKA, PASI;ELLAE, JUHA;KAITILA, JYRKI
分类号 H03H3/013;H03H3/02;H03H3/04;H03H9/17;H03H9/58 主分类号 H03H3/013
代理机构 代理人
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