| 发明名称 | 载具、半导体装置与传输接口系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供载具、半导体装置与传输接口系统，特别涉及一种载具包括：一密闭容器，包括一门盖；一储存槽，连接该载具，该储存槽包括至少一流体调节阀且含有至少一流体，该流体包含至少一还原气体、非反应气体或惰性气体；以及至少一基板载具，设置于该密闭容器内以支撑至少一基板。本发明亦关于一种半导体装置与机台装置传输接口系统。本发明所提供的载具、半导体装置与传输接口系统，基板大体不会暴露于空气中。 | ||
| 申请公布号 | CN101075571A | 申请公布日期 | 2007.11.21 |
| 申请号 | CN200710001247.5 | 申请日期 | 2007.01.09 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 余振华;萧义理 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01);H01L21/677(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/673(2006.01) |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人 | 刘新宇 |
| 主权项 | 1.一种载具，其特征在于，该载具包括；一密闭容器，包括一门盖；一储存槽，连接该载具，该储存槽包括至少一阀件且含有至少一流体，该流体包含至少一还原气体、非反应气体或惰性气体；以及至少一基板载具，设置于该密闭容器内以支撑至少一基板。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||