发明名称 Process for producing a silicon film
摘要
申请公布号 GB942201(A) 申请公布日期 1963.11.20
申请号 GB19600006676 申请日期 1960.02.25
申请人 MERCK & CO., INC. 发明人
分类号 C01B33/02;C23C16/24;C30B25/02 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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