光学装置、微机电元件及其制造方法

摘要

本发明系揭露一种光学装置、微机电元件及其制造方法，此微机电元件包含基板、第一绝缘层、第一金属层、第二绝缘层、第二金属层、第三绝缘层及第三金属层，其中第一金属层、第二金属层及第三金属层分别图案化并蚀刻形成操作区及电极区，且操作区之圆环彼此重叠，而电极区则不相重叠，同时，藉由蚀刻第一绝缘层、第二绝缘层及第三绝缘层以形成与各金属层相同且重叠之圆环，此外，此微机电元件架设于印刷电路板上，并将印刷电路板设置于电子显微镜中。