发明名称 Enhanced sputter target alloy compositions
摘要
申请公布号 KR100776383(B1) 申请公布日期 2007.11.16
申请号 KR20050046082 申请日期 2005.05.31
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C22C19/07;C23C14/20;G11B5/64;G11B5/66;G11B5/85;G11B5/851 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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