| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR IONISIERTEN PHYSIKALISCHEN DAMPFABSCHEIDUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69935321(T2) |
申请公布日期 |
2007.11.15 |
| 申请号 |
DE19996035321T |
申请日期 |
1999.05.05 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD. |
发明人 |
DREWERY, JOHN S.;LICATA, THOMAS J. |
| 分类号 |
C23C14/32;H01J37/32;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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