发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Antasten eines Oberflächenpunktes an einem Werkstück
摘要 Bei einem Verfahren zum Antasten eines Oberflächenpunktes an einem Werkstück wird ein Tastkopf mit einer Tastkopfbasis und mit einem Taststift bereitgestellt, der relativ zu der Tastkopfbasis beweglich ist. Der Taststift besitzt eine definierte Ruhelage relativ zu der Tastkopfbasis. Zum Antasten wird der Tastkopf relativ zu dem Werkstück verfahren, bis der Taststift den Oberflächenpunkt mit einer definierten Antastkraft berührt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird ein Korrekturdatensatz bereitgestellt, der ein Hystereseverhalten des Taststiftes in Bezug auf die Ruhelage repräsentiert, und die Antastkraft wird unter Verwendung des Korrekturdatensatzes bestimmt.
申请公布号 DE102006023031(A1) 申请公布日期 2007.11.15
申请号 DE200610023031 申请日期 2006.05.10
申请人 CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH 发明人 AUBELE, EUGEN;GRUPP, GUENTER;BERNHARDT, RALF;BENDZULLA, KLAUS
分类号 G01B5/008 主分类号 G01B5/008
代理机构 代理人
主权项
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