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发明名称 Haltevorrichtung für optisches Element
摘要
申请公布号 DE60126103(T2) 申请公布日期 2007.11.15
申请号 DE20016026103T 申请日期 2001.08.10
申请人 NIKON CORP. 发明人 SHIBAZAKI, YUICHI
分类号 G02B7/02;G02B13/14;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G02B7/02
代理机构 代理人
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