发明名称 |
六氟化钨气体的制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种六氟化钨气体的制备方法,将氟气(F<SUB>2</SUB>)与高纯氮(N<SUB>2</SUB>)按1∶0.5~20比例混合通入裂解器中,预热温度为10℃~100℃,压力为0~0.6MPa,时间为1min~20min,后进入反应器,反应器内有5~15Kg原料钨(W),反应器中氟气与原料钨的反应温度为20℃~400℃,反应时间为1min~20min,所制备的六氟化钨(WF<SUB>6</SUB>)气体由低温收集器液化收集,通过抽真空去除其中的氟气、氮气和三氟化氮低沸点杂质,低温收集器中收集10kg~50kg的WF<SUB>6</SUB>气体后,停止收集并升温将WF<SUB>6</SUB>气体压入钢瓶保存,所述的裂解器、反应器和低温收集器之间通过管道相连。六氟化钨气体的纯度可达到99.5%以上。 |
申请公布号 |
CN101070189A |
申请公布日期 |
2007.11.14 |
申请号 |
CN200710062166.6 |
申请日期 |
2007.06.16 |
申请人 |
中国船舶重工集团公司第七一八研究所 |
发明人 |
李本东;杨献奎;王占卫;李绍波;袁晓燕;隋希平;董露荣 |
分类号 |
C01G41/04(2006.01) |
主分类号 |
C01G41/04(2006.01) |
代理机构 |
邯郸市久天专利事务所 |
代理人 |
郭恒斌 |
主权项 |
1、一种六氟化钨气体的制备方法,其特征在于:将氟气与高纯氮按1∶0.5~20重量比混合通入裂解器(9)中,预热温度为10℃~100℃,压力为0~0.6MPa,时间为1min~20min,后进入反应器(10),反应器(10)内有5~15Kg原料钨,反应器(10)中氟气与原料钨的反应温度为20℃~400℃,反应时间为1min~20min,所制备的六氟化钨气体由低温收集器(11)在-70℃~0℃下液化收集,通过抽真空去除其中的氟气、氮气和三氟化氮低沸点杂质,低温收集器(11)中收集10kg~50kg的WF6气体后,停止收集并升温到20℃~100℃将WF6 气体压入钢瓶保存,所述的裂解器、反应器和低温收集器之间通过管道相连。 |
地址 |
056002河北省邯郸市展览路17号 |