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发明名称 LOW VIBRATION RECTIFICATION IN A CLOSED-LOOP, IN-PLANE MEMS DEVICE
摘要
申请公布号 EP1853929(A2) 申请公布日期 2007.11.14
申请号 EP20060734566 申请日期 2006.02.09
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL, INC. 发明人 LAFOND, PETER
分类号 G01P21/00;G01P15/08 主分类号 G01P21/00
代理机构 代理人
主权项
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