真空排气装置以及真空排气装置的运转方法

摘要

在由多级罗茨型干式真空泵构成的主泵(20)的主体(21)内，分别设置由马达(22)旋转驱动的一对转子R₁、R₂、R₃、R₄、R₅以及R₆。另外，在主体(21)的左端上壁部设置与转子R₁的转子室连通的吸入口(23)，具有静音装置(26)的排气配管(25)连接在与最后级的转子R₆的转子室的排出侧连通的排出部(24)上，而且通过配管(27)与止回阀(28)连接。该止回阀(28)以通向大气侧的方向为正方向。另外，比主泵(20)的排气量小的辅助泵(30)连接在排出部(24)或中间级的排出部(24′)上。若驱动马达(22)，则通过各转子R₁到R₆的旋转而排出的气体，从各自的转子室依次向下游侧移送，排出到与吸入口(23)连接的真空处理室。最后级的排出部(24)通过辅助泵(30)的驱动进行减压排气。因此，可以减轻通过最后级的转子R₆或中间级的转子R₅进行的排气作用的负担。即，可以使马达(22)的电力消耗与以往相比大幅减小。

主权项

1.一种真空排气装置，具有主泵、止回阀和辅助泵，该止回阀与该主泵的排出侧连接，仅允许气体从上述主泵向大气侧流动，该辅助泵相对于上述止回阀并列配置在上述主泵的排出侧，比上述主泵的排气量小，其特征在于，上述辅助泵是以上述主泵的吸入压力在400Pa时小于或等于上述主泵的排气速度的3％的排气速度运转的泵。