| 主权项 |
1.一种光罩盒,可与一充气装置结合;包括: 一顶盖;以及 一基座,与顶盖组合形成一内部空间,可容置至少 一光罩,该基座包括有: 一本体,该本体具有两相对之上下表面以及复数个 通孔设置于该上下表面;与 一可挠性片体,设置于该基座相向于该顶盖之本体 的上表面,该可挠性片体上设有复数个狭缝,该些 狭缝界定出复数个舌片各对应覆盖于各通孔上方 。 2.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,其中该充气 装置可经由该通孔将气体填充入光罩盒内部。 3.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,其中该顶盖 与基座为高分子材质。 4.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,其中该顶盖 与基座为塑胶材质。 5.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,其中该可挠 性片体为金属材质。 6.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,其中该可挠 性片体为不锈钢材质。 7.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,其中该些通 孔包含至少一充气孔及至少一排气孔。 8.如申请专利范围第1项所述之光罩盒,其中该光罩 盒进一步包含有复数个密封栓卡设于该些通孔内, 该密封栓中间具一贯穿孔。 9.如申请专利范围第8项所述之光罩盒,该基座之本 体之上表面具有一圆形凹槽与该通孔连接,该密封 栓一端有突缘结构,可与该圆形凹槽卡设而密切结 合。 10.如申请专利范围第8项所述之光罩盒,其中该密 封栓为高分子材质。 11.如申请专利范围第8项所述之光罩盒,其中该密 封栓为塑胶材质。 图式简单说明: 第一图:系为根据本发明一实施例之光罩盒之侧视 图; 第二图:系为根据与本发明结合之气体充填设备之 气体充填室之立体图; 第三A图:系为根据本发明一实施例之光罩盒之图; 第三B图:系沿第三A图B-B线所得之通孔剖面图; 第四A图:系为根据本发明一实施例之密封栓示意 图; 第四B图:系为根据本发明一实施例之光罩盒基座 示意图。 |
