发明名称 | 晶舟 | ||
摘要 | 【物品用途】本创作的物品是一种晶舟,主要是为了载置整批晶圆,进行相关处理用的载具。【创作特点】该晶舟,乃如立体图所示,大体上是由两片位置互为平行的圆形端板,以及两个圆形端板间设有三道轴向晶圆支架以及两支连结杆所组成;如俯视图或仰视图所示,该两端板的正上方设有一个半圆缺口;如前视图所示,该晶圆支架具有密集的梳齿形构造,配合B-B剖面图所示,该三道晶圆支架分别设置在端版的正下方以及两侧边,且两侧的支架与正下方的支架之间,设有许多圆弧状的连结杆使两者相连结,其中正下方的晶圆支架,其梳齿形构造的开口朝向正上方;两侧的晶圆支架,其梳齿形构造的开口以向内倾斜的角度朝向内上方;使多数的片状晶圆得以被放置在三道晶圆支架间,形成多数梳齿形构造;整体观之,确为一新颖独特之设计。 | ||
申请公布号 | TWD119911 | 申请公布日期 | 2007.11.11 |
申请号 | TW095305862 | 申请日期 | 2006.10.26 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 佐藤泉 |
分类号 | 主分类号 | ||
代理机构 | 代理人 | 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 | |
主权项 | 后视图与前视图对称,故省略之。 | ||
地址 | 日本 |