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发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN MATERIAU A BASE D'OXYDE DE SILICIUM ET A FAIBLE CONSTANTE DIELECTRIQUE
摘要
申请公布号 FR2881419(B1) 申请公布日期 2007.11.09
申请号 FR20050050253 申请日期 2005.01.28
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE SCIENTIFIQUE ET TECHNOLOGIQUE 发明人 NTSOENZOK ESIDOR;ASSAF HANAN;RUAULT MARIE ODILE
分类号 C01B23/00;H01L21/316;H01L21/762;C01B33/12 主分类号 C01B23/00
代理机构 代理人
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