| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung einer photonischen Kristallstruktur |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60127012(T2) |
申请公布日期 |
2007.11.08 |
| 申请号 |
DE20016027012T |
申请日期 |
2001.01.15 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES LTD.;KANSAI TECHNOLOGY LICENSING ORGANIZATION CO. LTD. |
发明人 |
NODA, SUSUMU |
| 分类号 |
G02B6/12;G01B11/27;G02B1/02;G02B5/18;G02B6/122;G02B6/13;H01L21/00;H01L21/30;H01L21/68;H01L33/00 |
主分类号 |
G02B6/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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