FORCE-SENSING DEVICE FOR MEASURING FORCE ON SOLID STATE ACTUATORS, METHOD FOR MEASURING FORCE, AS WELL AS USE OF FORCE-SENSING DEVICE
摘要
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kraftmessvorrichtung umfassend eine auf einem Festkörperaktor angeordnete amorphe Kohlenstoffschicht mit piezoresistiven Eigenschaften.</p>
申请公布号
WO2007124940(A1)
申请公布日期
2007.11.08
申请号
WO2007EP03776
申请日期
2007.04.27
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG;LUETHJE, HOLGER;BIEHL, SASKIA;MAYER, DIRK;MELZ, TOBIAS;HEROLD, SVEN
发明人
LUETHJE, HOLGER;BIEHL, SASKIA;MAYER, DIRK;MELZ, TOBIAS;HEROLD, SVEN
