平面阵列波导光栅型密集波分复用器

摘要

本实用新型涉及集成光学技术领域。它提出了一种平面阵列波导光栅型密集波分复用器，是基于平面光波导技术，采用半导体硅基二氧化硅平面制作工艺；由前后各一个能自由聚焦的平板波导和中间一组平面阵列波导组成的集成光路，具有双向可逆的单路/多路密集型多信道输入输出端口和波分复用/解复用功能；采用光电一体化集成模块金属外壳封装形式，内置式自动恒温控制装置，可有效改善平面集成阵列波导光栅的温度稳定性。该光器件不但结构紧凑，集成度高，体积小，重量轻，性能稳定可靠，而且制作工艺成熟、稳定，适合大批量生产，生产效率高、成本低，适用于光通信的骨干网、城域网和接入网的波分复用系统。

主权项

1.平面阵列波导光栅型密集波分复用器，由硅基晶圆、衬垫、波导光芯以及覆盖包层构成，其特征在于：硅基晶圆上沉积折射率及厚度不同的二氧化硅衬垫、波导光芯和覆盖包层，构成平面光波导器件；集成光路前后各有一个平板波导形成光路自由聚焦平面，中间是一组平面阵列波导，二端是单路和多路密集型多信道的输入和输出；器件的封装结构包括内置式自动恒温控制装置，V型槽结构的波导光纤接口，双层光电一体化集成模块和金属外壳。