发明名称
摘要
申请公布号 JP4002721(B2) 申请公布日期 2007.11.07
申请号 JP20000359299 申请日期 2000.11.27
申请人 发明人
分类号 C30B29/06;C30B15/00;H01L21/208 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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