发明名称 Article transfer apparatus
摘要
申请公布号 US3161753(A) 申请公布日期 1964.12.15
申请号 US19620167610 申请日期 1962.01.22
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 SCHMICK QUENTIN L.
分类号 H01L21/00;H01L21/67 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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