| 主权项 |
1.一种超音波振动装置,其特征在于:具有包含1层 或多层结构之振动板及固接在该振动板上并产生 超音波振动之振子之振动部; 上述振动部之厚度系设定为使上述振动板之各层 与上述振子各自之上述超音波振动前进方向之厚 度与各自之上述超音波振动之波长之比,亦即厚度 /波长比之和为1/2之整数倍; 上述振子之厚度系设定为上述厚度/波长比为1/2之 整数倍以外。 2.如请求项1之超音波振动装置,其中上述振动部之 厚度系设定为使上述振动板之各层与上述振子各 自之上述厚度/波长比之和为1/2。 3.如请求项1之超音波振动装置,其中上述振动板系 由高导热材料形成。 4.如请求项1之超音波振动装置,其中上述振动板为 多层结构,固接有上述振子之层由高导热材料形成 ,与固接上述振子之侧相反侧之最外层由耐液性材 料形成。 5.一种超音波清洗装置,其特征在于:贮存清洗用流 体之处理槽中,具有如请求项1之超音波振动装置 。 6.一种湿处理装置,其特征在于:具有湿处理用喷嘴 ,该湿处理用喷嘴,包括具有与被处理物件相对的 相对面的湿处理本体部,藉由向上述被处理物件和 上述相对面之间的间隙供给的湿处理液,对上述被 处理物件实施湿处理; 上述湿处理本体部具有如请求项1之超音波振动装 置,该超音波振动装置之振动部具有与上述被处理 物件相对之相对面。 图式简单说明: 图1系表示本发明的第1实施方式的超音波振动装 置的概略构成的剖视图。 图2系表示本发明的第2实施方式的超音波振动装 置的概略构成的剖视图。 图3系表示本发明的第3实施方式的湿处理装置的 概略构成的剖视图。 图4系从被处理物一侧看该湿处理装置所具有的湿 处理用喷嘴的俯视图。 图5系表示本发明的第4实施方式的湿处理装置的 概略构成的剖视图。 图6系表示本发明的第5实施方式的湿处理装置的 概略构成的剖视图。 图7系表示本发明的第6实施方式的超音波清洗装 置的概略构成的剖视图。 图8系表示第1实施方式的超音波振动装置所具有 的振动部的波形例的示意图。 图9系表示第1实施方式的超音波振动装置具有的 振动部的其他波形例的示意图。 图10系表示以往式的超音波振动装置具有的振动 部的其他波形例的示意图。 图11系表示实施例1~2、比较例1的超音波振动装置 的振动部的频率和平均振幅的关系图。 图12系表示实施例1、比较例2~3的超音波振动装置 的振动部的共振频率和振动面的位移的关系图。 图13系表示实施例3~4、比较例1的超音波振动装置 的振动部的共振频率和平均振幅的关系图。 图14系表示以往的超音波清洗装置例的概略构成 图。 图15系表示以往的超音波清洗装置的其他例的概 略构成图。 |
