探针卡覆盖系统及测试积体电路的方法

摘要

本发明揭示了一种护盖，该护盖系设于用来测试一晶圆上的晶粒的一探针卡的若干电气接点之上。本发明揭示了一种测试机，该测试机中具有被覆盖的探针卡。本发明揭示了在探针卡系位于该测试机中时使该等电气接点不被覆盖之各种机构。