排废气中的氧化乙烯的除害方法以及除害装置

摘要

是将从会排出包含氧化乙烯的排废气的设备所排出的排废气中所混入的氧化乙烯，简易且安全地予以除害的方法及装置。在本发明的排废气中的氧化乙烯的除害方法，是将包含有氧化乙烯的排废气，导入到没有火焰的高温的反应处理区域，并且将含氧气体供给到该反应处理区域，在反应处理区域内，将排废气中的氧化乙烯分解。藉由本发明，可将排废气中的氧化乙烯的浓度，从0.1容量％以上，减低至100容量ppm以下。