磁极,具有该磁极的磁写头,及其制造方法

摘要

本发明提供一种制造用于垂直磁记录的具有写极的磁写头的方法，所述写极具有非常窄的道宽和良好控制的临界尺寸。写极通过以下工艺形成。在所述衬底上沉积导电籽层，然后在所述籽层上沉积光致抗蚀剂材料层。光刻地曝光和显影该光致抗蚀剂层从而在所述光致抗蚀剂层中形成开口或槽，所述开口定义写极图案。然后电镀磁材料到所述光致抗蚀剂层中的开口中。然后通过化学顶离去除光致抗蚀剂层，并通过离子研磨去除所述籽层的未被所述写极覆盖的部分。

主权项

1.一种制造垂直磁写头的磁极的方法，该方法包括：提供衬底；在所述衬底上沉积导电籽层；在所述籽层上沉积光致抗蚀剂材料层；光刻地曝光和显影所述光致抗蚀剂材料从而在所述光致抗蚀剂材料中形成开口；以及电镀磁材料到所述光致抗蚀剂材料中的开口中从而形成写极。