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发明名称 VERFAHREN ZUM SELEKTIVEN ENTFERNEN EINER METALLSCHICHT MITTELS STRAHLEN MIT KOHLENDIOXID
摘要
申请公布号 DE60126790(T2) 申请公布日期 2007.10.31
申请号 DE20016026790T 申请日期 2001.09.12
申请人 BOC INC. 发明人 BOWERS, W.
分类号 H01L21/027;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3213 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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