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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC COMPONENT
摘要
申请公布号 EP1388890(A4) 申请公布日期 2007.10.31
申请号 EP20030703043 申请日期 2003.01.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD 发明人 NAKATANI, MASAYA;HAYASHI, MICHIHIKO;TAJIKA, HIROFUMI
分类号 G01C19/56;G03C5/00;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/461;H01L21/784;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 G01C19/56
代理机构 代理人
主权项
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