| 发明名称 | 晶片保持具 | ||
| 摘要 | 一种晶片保持具，具备：支持基板，具有圆形表面；环形支持环，设置在该支持基板的该表面上且从该支持基板的该表面突出；和吸引机构，具有在该支持基板的该表面上的该支持环内侧的区域上开口的吸引开口。支持环由弹性材料形成。 | ||
| 申请公布号 | CN101064268A | 申请公布日期 | 2007.10.31 |
| 申请号 | CN200710101218.6 | 申请日期 | 2007.04.24 |
| 申请人 | 株式会社迪斯科 | 发明人 | 野宫进 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 徐殿军 |
| 主权项 | 1.一种晶片保持具，其特征在于，具备：支持基板，具有圆形表面；环形支持环，设置在该支持基板的该表面上且从该支持基板的该表面突出；和吸引机构，具有吸引开口，该吸引开口在该支持基板的该表面上的该支持环内侧的区域上开口，该支持环由弹性材料形成。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||