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发明名称
摘要
申请公布号 JP3998893(B2) 申请公布日期 2007.10.31
申请号 JP20000150672 申请日期 2000.05.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/76;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/762;H01L21/8234;H01L27/08;H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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