结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器

摘要

本发明的目的在于提供一种结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率高，可以稳定地维持等离子体，可以稳定地得到高密度的等离子体。本发明的电感耦合等离子体反应器结合有变压器，变压器具有用于向反应器主体的等离子体放电室传递等离子体放电的电动势的多重磁芯、和初级线圈。位于等离子体放电室内部的磁芯部分，由芯保护管整体覆盖而受保护。初级线圈与提供射频功率的电源供给源电连接。在电感耦合等离子体反应器中，多个磁芯横截部分位于等离子体放电室的内部，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率很高。

主权项

1.一种电感耦合等离子体反应器，其特征在于，包括：反应器主体，具有多个等离子体放电室；变压器，具有多个横穿等离子体放电室设置的磁芯、和初级线圈；芯保护管，将位于等离子体放电室的内部的磁芯部分覆盖从而进行保护；以及电源供给源，与初级线圈连接，由电源供给源驱动初级线圈的电流，初级线圈的驱动电流感应产生AC电位，该AC电位形成完成变压器的次级电路的电感耦合等离子体，电感耦合等离子体以覆盖芯保护管的外侧的方式形成在多个等离子体放电室中。