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发明名称 MIKROELEKTROMECHANISCHE VORRICHTUNG UND VERFAHREN VON AKUSTISCHEN OVERFLÄCHENWELLEN
摘要
申请公布号 DE60311125(T2) 申请公布日期 2007.10.25
申请号 DE20036011125T 申请日期 2003.07.11
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 MA, QING;SHIM, DONG
分类号 B81B3/00;H03H9/02;H03H9/05;H03H9/25 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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