发明名称 用于平面接触的金属化薄膜
摘要 本发明涉及一种接触至少一个位于一基板(2)和/或至少一个布置在所述基板(2)上的组件(3)的一表面上的电接触面(1)的方法,所述组件特别为半导体芯片。所述方法包括下列步骤:在真空条件下将至少一个由电绝缘塑料材料制成的绝缘膜(4)层压在所述基板(2)和所述组件的具有所述接触面(1)的表面上;通过在所述绝缘膜(4)上开一窗口(6)来露出所述表面上待接触的接触面(1)。本发明的特征在于使露出的接触面(1)与一绝缘膜(4)上的至少一个金属镀层(5)进行平面接触。
申请公布号 CN101061582A 申请公布日期 2007.10.24
申请号 CN200580039308.6 申请日期 2005.11.21
申请人 西门子公司 发明人 卡尔·韦德纳
分类号 H01L25/07(2006.01);H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L25/07(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 张亮
主权项 1.一种接触至少一个位于一基板(2)和/或至少一个布置在所述基板(2)上的组件(3)的一表面上的电接触面(1)的方法,所述组件特别为半导体芯片,所述方法包括下列步骤:在真空条件下将至少一个由电绝缘塑料材料制成的绝缘膜(4)层压在所述基板(2)和所述组件的具有所述接触面(1)的表面上,通过在所述绝缘膜(4)上开一窗口(6)来露出所述表面上待接触的接触面(1),其特征在于,使露出的接触面(1)与一绝缘膜(4)上的至少一个金属镀层(5)进行平面接触。
地址 德国慕尼黑