发明名称 |
衬底处理装置 |
摘要 |
一种衬底处理装置,具备四方用侧壁(2b~2e)包围、上部开口的有底的容器组成的处理槽(1),和供给此处理槽(1)处理液的第1、第2供给喷嘴管(10a~10d),其特征在于,上述第1、第2供给喷嘴管(10a~10d),分别由中空筒状体、在长方向的侧面上以规定间隔排列成1列的具有多个喷射口(11)的供给喷嘴管组成,其中第1供给喷嘴管(10b、10d),使其喷射口相对于水平方向以规定角度倾斜,向下方倾斜,第2供给喷嘴管(10a、10c),使其喷射口相对于水平方向以规定角度倾斜,向上方倾斜,在上述处理槽的一侧壁面(2b)上空开规定间隔,设置成大致水平。本发明提供一种使处理槽内的处理液不滞流、能够进行均一的衬底的处理,还极易除去微粒的衬底处理装置。 |
申请公布号 |
CN101061574A |
申请公布日期 |
2007.10.24 |
申请号 |
CN200580034403.7 |
申请日期 |
2005.05.23 |
申请人 |
S.E.S.株式会社 |
发明人 |
木泽浩;古贺贵博;中务胜吉;小笠原和久;山口弘 |
分类号 |
H01L21/304(2006.01);G03F7/30(2006.01);G03F7/42(2006.01);H01L21/306(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/304(2006.01) |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 |
代理人 |
楼高潮 |
主权项 |
1、一种衬底处理装置,具备四方用侧壁包围、上部开口的有底的容器组成的处理槽,和供给此处理槽处理液的第1、第2供给喷嘴管,其特征在于,上述第1、第2供给喷嘴管,分别由中空筒状体、长距离方向的侧面按规定间隔排列成1列的具有多个喷射口的供给喷嘴管组成,其中第1供给喷嘴管,使其喷射口相对于水平方向以规定角度,向斜下方倾斜,第2供给喷嘴管,使其喷射口相对于水平方向以规定角度,向斜上方倾斜,在上述处理槽的一侧壁面上以规定间隔分离,大致呈水平设置。 |
地址 |
日本国东京都 |